| 摘要 |
一种光电元件检测用之高频探针卡，包含有一具有一第一开口及至少一第一通孔之基板、一设于基板且具有一第二开口及至少一第二通孔之间隔板、一底面设于间隔板且具有一第三开口及至少一第三通孔之电路板，以及一固设于基板且包含有至少一接地探针及至少一高频阻抗匹配探针之探针模组，该等开口系相连通以供光线通过，高频阻抗匹配探针包含有穿过该等通孔之一讯号传递结构及一接地匹配结构，讯号传递结构及接地匹配结构系分别与电路板顶面之讯号接点及接地接点电性连接；藉此，该探针卡符合高频测试需求、容易制造，并让讯号传递得较为平顺。 |
