使用阴影云纹法线上即时检测表面形貌与平面外变形之方法与系统

主权项

一种使用阴影云纹法线上即时检测表面形貌与平面外变形之方法，包括以下步骤：提供一具有一平面之物件；在该平面上方取一固定距离放置一光栅，该光栅与该物件之平面形成两个平行的平面；照射一光源在该光栅上，该光源与该光栅之法线形成一入射夹角；在该光栅上法线另一边远离该光源处，与该光栅之法线形成一反射夹角，接收该光源穿过该光栅从该物件之平面反射的反射光再经过该光栅形成一干涉条纹影像；改变该光栅与该物件之距离，重复撷取复数个干涉条纹影像，依据该些干涉条纹影像得到该平面之全场相位值；以及将该全场相位值转换成位移值，得到量化后的该位移值并重建该物件之表面形貌与平面外变形资讯；其中该物件为一透光物体或导光板。