半导体装置之检查装置、检查系统、检查方法，及检查完毕半导体装置之生产方法

主权项

一种检查装置，其对半导体装置的输出讯号进行检查，并具有：监视器线路；监视器装置，其对监视器线路上的讯号进行检测；复数个检查电路，其被连接于监视器线路，各个检查电路具有：半导体装置支承件，其上能够设置半导体装置，且具有使讯号从所设置的半导体装置输入的讯号端子；第一电阻器，其被连接在讯号端子与监视器线路之间；选择器端子；及第一二极体，其被连接在讯号端子与选择器端子之间以使选择器端子侧成为阴极。