| 主权项 |
一种高频电力供给装置，系为对于电浆负载供给高频电力之高频电力供给装置，其特征为，具备有：高频电源部，系藉由切换动作来将直流电源之直流变换为高频交流并输出高频电力；和回归系，系使前述高频电源部之高频输出的检测值回归而进行反馈控制，前述回归系，系具备有：前进波电力控制回圈系，系使从前述高频电源部所朝向电浆负载之前进波电力的检测值作回归并对于前进波电力作控制；和复数之反射波电力控制回圈系，系使从前述电浆负载所朝向前述高频电源部之反射波电力的检测值作回归并对于反射波电力作控制，前述反射波电力控制回圈系，系具备有：反射波电力峰值垂下回圈系以及电弧遮断系，系对于反射波电力之峰值变动作抑制、和反射波电力量垂下回圈系，系对于反射波电力之电力平滑量作控制，前述反射波电力峰值垂下回圈系，系基于反射波电力之峰值来对于前述高频电源部之直流电源的直流电压作控制，并藉由该直流电源之电压控制来对于反射波电力之峰值作垂下控制，前述电弧遮断系，系基于反射波电力之峰值来对于前述高频电源部之RF放大部的输出之有无作控制，并藉由
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