| 主权项 |
一种基板处理系统，具有可对基板进行热处理之构造，且包含有：复数处理室，具有可对基板进行热处理之构造；搬送机械手臂，用以搬送基板；以及控制部，用以控制上述处理室和上述搬送机械手臂，又，上述处理室具有：多层框架，以将基板支承在各层上；以及门，在搬入和搬出基板时，可对应多层框架中的预定层，打开或关闭，上述控制部，系控制上述搬送机械手臂和上述门的动作，将搬入一处理室内后经过规定时间的基板，从该一处理室搬出，接着，将未处理基板搬入该一处理室内后，将搬入另一处理室内后经过规定时间的基板，从该另一个处理室搬出，接着，将未处理基板搬入该另一处理室内，之后亦藉由对上述复数处理室依序继续如此动作，并对上述复数处理室内支承在上述多层框架上的所有基板，进行规定时间的热处理。 |
