| 主权项 |
一种压电振动子的制造方法，系利用基底基板用晶圆及盖体基板用晶圆来一次制造复数个在互相接合的基底基板与盖体基板之间所形成的空腔内密封压电振动片的压电振动子之方法，其特征系具备：凹部形成工程，其系于上述盖体基板用晶圆，形成复数个在叠合两晶圆时形成上述空腔的空腔用凹部；贯通电极形成工程，其系于上述基底基板用晶圆，形成复数个贯通此晶圆的贯通电极；绕拉电极形成工程，其系于上述基底基板用晶圆的上面，形成复数个对上述贯通电极电性连接的绕拉电极；安装工程，其系将复数的上述压电振动片经由上述绕拉电极来接合于上述基底基板用晶圆的上面；叠合工程，其系叠合上述基底基板用晶圆与上述盖体基板用晶圆，在以上述凹部及两晶圆所包围的上述空腔内收纳上述压电振动片；接合工程，其系接合上述基底基板用晶圆及上述盖体基板用晶圆，将上述压电振动片密封于上述空腔内；外部电极形成工程，其系于上述基底基板用晶圆的下面，形成复数个电性连接至上述贯通电极的外部电极；及切断工程，其系切断所被接合的上述两晶圆，而小片化成复数的上述压电振动子，又，上述贯通电极形成工程系具备：贯通孔形成工程，其系于上述基底基板用晶圆形成复数个贯通此晶圆的贯通孔；组装工程，其系于该等复数的贯通孔内配置两端为平坦且形成与基底基板用晶圆大致同厚度的导电性的芯材，且在芯材与贯通孔之间配置连结材；及烧结工程，其系以预定的温度来烧结连结材，藉此使贯通孔、连结材及芯材一体地固定。 |
