具有铁氧体结构之电浆源天线及使用其之电浆产生装置

主权项

一种电浆源天线，包含：一线状天线单元，包括呈线状的一第一天线及一第二天线，该第一天线及第二天线各以其一端相互连接形成一个环状；及复数铁氧体结构，分别设置于该线状天线单元的第一天线与第二天线上，用以将从该第一天线及第二天线辐射形成的场集中于一个方向，其中该铁氧体结构具有一个拱形，该第一天线及第二天线上的铁氧体结构的数量为复数，且更包含设置于该等铁氧体结构之间的铁氟龙，且该等铁氧体结构具有不同的尺寸或厚度。