解耦、多级的定位系统

主权项

多级的定位系统，其包含：一尺寸稳定的基材，其具有一基材厚度以及相对之实质上平行的第一主要表面部位与第二主要表面部位；一第一导轨组件，其系耦接至基材之第一主要表面部位且被定位成用以可反应于第一推动力而导引第一级台沿着第一轴线的运动，基材在第一级台沿着第一轴线之导引运动期间系保持静止；一第二导轨组件，其系耦接至基材之第二主要表面部位且被定位成可反应于第二推动力而导引第二级台沿着第二轴线的运动，且第二轴线与第一轴线系相对于彼此横向地配置，基材在第二级台沿着第二轴线之导引运动期间系保持静止；以及该尺寸稳定的基材系解耦所述第一级台与第二级台，致使第一级台与第二级台中每一级台的导引运动对第一级台与第二级台中的另一级台提供可忽略的推动力，且藉此在沿着基材厚度的方向上提供可忽略误差的运动。