缺陷观察方法及缺陷观察装置

主权项

一种缺陷观察装置，藉由比较被检查画像和参照画像，检测出上述被检查画像所含之缺陷区域，该缺陷观察装置之特征为：具备缺陷占有率判定处理部，其系用以求出上述被检查画像所占之缺陷区域之比率的缺陷占有率，判定该缺陷占有率和临界值之大小，因应上述判定之结果，决定是否作成以具有上述被检查画像所含之复数画素之平均亮度值的画素所构成之画像，以作为上述参照画像。