侦测矽熔汤外泄之方法

主权项

一种侦测矽熔汤外泄之方法，适用以侦测一炉体内之一坩埚内之一矽熔汤的外泄，其中该坩埚之外围包覆有复数个石墨板材，该侦测矽熔汤外泄之方法包含：利用一气体侦测器进行一侦测步骤，以侦测该炉体内之二氧化碳之含量；将该坩埚之一加热温度维持在一稳定状态时，所侦测到之该二氧化碳之一第一含量值作为一基准；以及进行一判断步骤，以判断该矽熔汤是否自该坩埚外泄，其中当后续所侦测到之该二氧化碳之一第二含量值相对于该第一含量值呈一陡升状况时，判断该矽熔汤外泄。