可旋转状态检出装置及可旋转状态检出方法以及使用其之基板处理装置及基板处理方法;READY FOR ROTATION STATE DETECTION DEVICE, METHOD OF DETECTING READY FOR ROTATION STATE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

摘要

一种可旋转状态检出装置，系在腔室内所具备之旋转台的表面上所形成之基板载置用凹部上载置有基板，而检出成为即便让该旋转台旋转，该基板亦不会从该凹部飞出之状态。该可旋转状态检出装置系具有在基板被载置于该凹部上时，检出该基板端部之表面的高度会成为可让该旋转台开始旋转之既定值以下的可旋转状态检出机构。