具有改良稳定度之连续波深紫外光雷射;CW DUV LASER WITH IMPROVED STABILITY

摘要

一种深紫外光(DUV)连续波(CW)雷射，其包含：一基谐波CW雷射，其经组态以产生具有在约1μm与1.1μm之间之一对应波长之一基谐波频率；一个三次谐波产生器模组，其包含产生一个三次谐波及一选用二次谐波之一或多个周期性极化之非线性光学(NLO)晶体；及一个四次谐波产生器模组及一个五次谐波产生器中之一者。该四次谐波产生器模组包含经组态以使基谐波频率与三次谐波组合以产生一个四次谐波之以该基谐波频率谐振之一腔。该四次谐波产生器模组包含用于使基谐波频率与三次谐波组合以产生一个五次谐波之以该基谐波频率谐振之一腔，或用于使二次谐波与该三次谐波组合以产生该五次谐波之以该二次谐波频率谐振之一腔。