| 摘要 |
在被测量物的微细区域中的测量之执行，系做成扫描型探针显微镜影像，并用该影像使探针接触到微细区域，不过，为了测量pA以下的微小电流，使用检出悬臂变形的感测器电路。;使用自我检知型悬臂，包括：针对将电流供给至该探针的第1配线、以及用于检出该悬臂的变形之感测器电路的第2配线，用于将第2配线使用作为第1配线的屏蔽配线的屏蔽电位发生手段；及第2配线切换手段，其切换该第2配线，使其依使用作为感测器的第1期间和维持在屏蔽电位的第2期间的时间分割使用。并且，在第1期间取得该二维分布后，在第2期间时将该探针移动到依据该二维分布的既定的位置，以测量第1配线的电流或电压。 |
