同步式动态轮廓量测干涉仪;AN INTERFEROMETRIC CONFIGURATION BASED OF SYNCHRONOUS MEASUREMENT OF DYNAMIC SURFACE PROFILE

摘要

一种同步式动态轮廓量测干涉仪，系利用光波电场偏振态的调整与控制，以及相位调变与控制，藉由调整参考光波的相位调变频率，使其等于待测元件表面的传导波频率，以及各种调校技巧，求出待测元件表面对反射光波产生的相位差，进而求出待测元件的轮廓分布。