微机电系统装置及其半成品及制造方法

主权项

一种微机电系统装置之半成品，包含：一基板，其包含一切割道区；以及多个微机电系统，其设置于基板，且由该切割道区空间分离，每一该微机电系统包含：一可动元件；一功能元件，其与该可动元件耦合，用以感测该可动元件之一运动物理量，并输出一对应之感测讯号，或控制该可动元件产生所需之该运动物理量；以及一导电迹线，其设置于该基板，且与该可动元件以及该功能元件电性连接，以使该可动元件以及该功能元件为等电位，且该导电迹线设置于该切割道区内。