单晶积体电路（ＭＭＩＣ）结构及此种结构的形成方法;MONOLITHIC INTEGRATED CIRCUIT (MMIC) STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING SUCH STRUCTURE

摘要

一种形成具有电晶体装置的半导体结构的方法，具有控制于第一电极及第二电极之间的载子的流动的控制电极。钝化层沉积于第一电极、第二电极及控制电极上。蚀刻停止层沉积于控制电极上的钝化层上。介电层形成于蚀刻停止层上。窗系蚀穿控制电极上的介电层中的选定区域，以暴露设置于控制电极上的蚀刻停止层的部分。金属层形成于蚀刻停止层的部分上且介电层亦形成于金属层上。第二金属层沉积于形成于第一的所述的金属层上的介电层的部分上。