| 主权项 |
一种积体型薄膜太阳电池之制造装置，其特征在于包括：支持机构，其支持薄膜太阳电池基板；刻划头，其经由加压机构而保持槽加工工具；及移动机构，其使上述基板与刻划头相对地移动；且上述加压机构系由音圈电动机形成；其中，上述槽加工工具包括棒状本体、及形成于本体前端之刃尖区域，刃尖区域包括：细长延伸之长方形底面；自底面之短方向之端边立起之前面与后面；及自底面之长方向之端边垂直立起且相互平行之成对之面之左右侧面；由至少前后面中之任一面与底面所形成之角部成为刃尖；且上述槽加工工具之前面或后面相对于上述基板之表面倾斜而设置。 |
