被检查体之检查方法及被检查体之检查用程式

主权项

一种被检查体之检查方法，在控制装置之控制下，移动载置被检查体之载置台，使探针卡之复数探针分别电性接触于上述被检查体之所有元件中的复数个元件，针对上述所有元件每次执行复数个份的电特性检查，该被检查体之检查方法之特征为：在结束上述所有元件之电特性检查之后，上述复数探针接触之元件中，于每特定元件产生检查不良之时，针对上述所有元件执行再检查，于执行再检查时，将上述探针卡和上述被检查体最初接触之位置从在上一次检查之最初接触位置至少偏移一个元件份，使接触于上述特定元件而产生检查不良之探针以外的探针与上述特定元件接触，每次执行复数个份的上述元件之电特性检查。