真空装置、真空处理系统及真空室之压力控制方法

主权项

一种真空装置，具备藉由自气体供给源所供给之作动用气体而作动之闸阀，和藉由上述闸阀被维持真空状态之真空室，其特征为：具备为了将外部气体导入至上述真空室内，被贯通形成于该真空室之壁的连通孔；和一端侧被连接于上述连通孔，另一端形成有真空泄漏用埠之配管；和被配置在上述配管，藉由依自上述作动用气体之供给路径分歧的供给路径而被供给之第1控制用气体来进行开关，切换导入来自上述真空泄漏用埠之外部气体的第1开关机构，上述第1开关机构系当上述第1控制用气体之供给压力成为特定压力以下时则被开启，使外部气体从上述真空泄漏用埠导入至上述真空室。