发明名称 液晶搬运机器人及其控制方法
摘要
申请公布号 TWI471257 申请公布日期 2015.02.01
申请号 TW097118138 申请日期 2008.05.16
申请人 安川电机股份有限公司 发明人 桐谷正显;加藤博文;山崎哲也
分类号 B65G49/06;B25J13/08;H01L21/68 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种液晶搬运机器人,系昇降移动连杆机构所形成的昇降机构;水平移动连杆机构所形成的左右的两个水平多关节机构;可将矩形形状的基板载置在上述水平多关节机构的手部;及配备在上述昇降机构的行走台车所构成的液晶搬运机器人,其特征为:上述昇降机构,具备:第1旋绕轴;经由该第1旋绕轴所连结的两个昇降移动连杆机构;及使得该两个昇降移动连杆机构以上述第1旋照轴为中心旋绕的驱动机构,在上述第1旋绕轴周围旋绕的上述两个昇降移动连杆机构之中的上方连杆机构的前端具备可在水平面内旋绕的第2旋绕轴,上述水平多关节机构,具备:与安装在可于上述水平面内旋绕之第2旋绕轴的水平底座连结,并藉着定位在垂直面内的第3旋绕轴而可彼此旋绕地连结的第3及第4臂体,及驱动该等第3及第4臂体的驱动手段,上述手部在上述基板的搬运方向移动的场合,上述左右两个水平方向多关节机构分别之透过上述第3旋绕轴连结而相对于上述基板的搬运方向成左右对撑配置的上述第3及第4臂体是以上述第3旋绕轴为中心旋绕藉此进退,于上述手部和上述水平多关节机构之间配备着立柱,在上述立柱配备有可对上述基板位置进行检测的感测器,上述水平多关节机构是针对上述基板的搬运方向构成为左右对称构造,此外配备在上述立柱的上述感测器也成
地址 日本