平板显示用的空白罩幕与光罩;BLANKMASK AND PHOTOMASK FOR FLAT PANEL DISPLAY

摘要

一种构成平板显示器用的空白罩幕的金属层，形成具有背部抗反射层、光屏蔽层、反射衰减层与抗反射层的堆叠结构，使得金属层具有关于用在曝光制程中的i线至g线的曝射光的低反射率偏差(8%或更低)。因此，在转移制程中最小化再反射的曝射光转移到面板，以改善图案的精确度。特别是，改善在重叠曝光区域中的图案精确度。此外，由于根据转移制程的面板的图案精确度提升，因此形成更精细的图案。所以，用于具有更高解析度的平板显示器的空白罩幕和光罩被制造。