场效电晶体及包括多个场效电晶体的气体侦测器;A FIELD EFFECT TRANSISTOR AND A GAS DETECTOR INCLUDING A PLURALITY OF FIELD EFFECT TRANSISTORS

摘要

一场效电晶体包含一源极包括其中具有空间的多个电极凸部。一汲极包括各自位在该源极之该等电极凸部间之空间中之一者的多个电极凸部，藉此形成汲极与源极凸部交错之一汲-源电极连结区。一闸极系与该汲-源电极区隔开藉此形成在该闸极与该汲-源电极连结区间之一通道，其中该闸极系平行于该通道前进。多个奈米结构系位在该汲-源电极区藉此于该汲-源电极连结区内在该汲极与源极之该等电极凸部间形成一电气连结。本发明扩充至包括多个如前述场效电晶体位在一基体上之一气体侦测器。