发明名称 薄膜电晶体
摘要
申请公布号 TWI471946 申请公布日期 2015.02.01
申请号 TW099139500 申请日期 2010.11.17
申请人 群创光电股份有限公司 发明人 林信宏;张荣芳;高克毅
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种薄膜电晶体,包括:一闸极位于一基板上;一闸极介电层位于该闸极与该基板上;一源极/汲极位于该闸极两侧的该闸极介电层上;一通道层位于该闸极中间部份的闸极介电层上,且该通道层接触该源极/汲极;以及一绝缘盖层覆盖该通道层,其中该通道层包括一氧化物半导体,且该绝缘盖层的下表面宽度小于该通道层的上表面宽度。
地址 苗栗县竹南镇新竹科学工业园区科学路160号