稀土氧化物系抗电浆腐蚀薄膜涂层;PLASMA EROSION RESISTANT RARE-EARTH OXIDE BASED THIN FILM COATINGS

摘要

物件包含主体和至少一保护层，保护层位于主体的至少一表面上。至少一保护层系厚度小于约20微米的薄膜，且包含选自由Y3Al5O12、Y4Al2O9、Er2O3、Gd2O3、Er3Al5O12、Gd3Al5O12和陶瓷化合物所组成群组的陶瓷，陶瓷化合物包含Y4Al2O9与Y2O3-ZrO2固体溶液。