| 摘要 |
提供一种EFEM，当藉由底部洁净处理而降低了内部空间的水分浓度之洁净对象容器的门被开放后一瞬间，能够防止/抑制洁净对象容器内的水分浓度急遽上昇之情况，避免水分附着于晶圆所造成之品质降低。;做成之EFEM，系具备屏护气体幕装置(6)，当使藉由设于载入埠(2)的底部洁净装置(25)而水分浓度降低至规定值之洁净对象容器(5)的内部空间(5S)与晶圆搬运室(3)的内部空间(3S)连通时，在开口部(23)附近且比载入埠(2)的开口部(23)还偏向晶圆搬运室(3)侧之位置，从比开口部(23)的上缘还高的位置将屏护幕气体朝向正下方吹出，形成可遮蔽开口部(23)之气体幕。 |
