探针装置

摘要

提供一种相较于以往可缩短探针装置中之电性路径且使电阻等减少而可实施精度良好之检查的探针装置。探针装置(100)，系具备：导体膜电极(220)，被形成于载置台(111)中之半导体晶圆(W)的载置面；电极板(221)，被配设于载置台(111)的上方；及接触探针(222)，被配设于载置台(111)的侧方，该接触探针(222)系具有：抵接部(222a)，在上面形成有凹凸；及缆线连接部(222b)，在抵接部(222a)的下方与该抵接部(222a)一体构成，且连接有与导体膜电极(220)电极电性连接的缆线(225)，在使载置台(111)上升且使探针卡(210)的探针(211)接触于半导体晶圆(W)之半导体元件的电极时，藉由配设于缆线连接部(222b)之下方的弹压构件，使抵接部(222a)与电极板(221)抵接。