发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN COMPOSANT ELECTRONIQUE AU NITRURE DE GALLIUM
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un composant électronique dans et sur une couche (3) de nitrure de gallium, comportant une étape d'amincissement d'une portion de ladite couche (3) par usinage ionique.</p>
申请公布号 FR3009129(A1) 申请公布日期 2015.01.30
申请号 FR20130057407 申请日期 2013.07.26
申请人 STMICROELECTRONICS (TOURS) SAS 发明人 BOUFNICHEL MOHAMED;LADROUE JULIEN;GOSSET NICOLAS
分类号 H01L21/3065;H01L29/872 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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