多层纳米颗粒膜增敏的光纤氢气传感器

摘要

本发明提供一种多层纳米颗粒膜增敏的光纤氢气传感器，包括气室；相互平行、等距排列的玻璃基底队列；感氢纳米颗粒膜，镀在每个玻璃基底上；发送光纤和接收光纤，设置在气室的两端，使得发送光纤发出的光通过透镜准直后，沿玻璃基底队列排列方向穿透所有感氢纳米颗粒膜，然后耦合进接收光纤。本发明将感氢元素或合金制作成纳米颗粒膜镀在基底上，层叠排列，有效利用了纳米颗粒感氢速度快，与基底材料界面应力小等优点；并通过多层透射作用达到了传感器增敏效果，弥补了少量纳米颗粒散射效果差的缺点，从而消除了原薄膜型光纤氢气传感器在响应速度、灵敏度和可靠性方面存在的不可调和的矛盾，全面提高了传感器的性能。

主权项

一种多层纳米颗粒膜增敏的光纤氢气传感器，其特征在于：它包括：气室；相互平行、等距排列的玻璃基底队列，设置在气室内部，与气室底面垂直；感氢纳米颗粒膜，镀在每个玻璃基底上；发送光纤和接收光纤，设置在气室的两端，使得发送光纤发出的光通过透镜准直后，沿玻璃基底队列排列方向穿透所有感氢纳米颗粒膜，然后耦合进接收光纤。