发明名称 一种上电极板的真空测漏工装
摘要 本实用新型公开了一种上电极板的真空测漏工装,所述真空测漏工装包括底板和盖板,所述底板呈圆盘形且水平设置,所述底板上开设一充气孔,该充气孔上通过密封圈插装一充气接口,所述底板的直径大于所述上电极板的直径;所述盖板呈圆盘形且安装在所述底板上,且所述盖板的中心与所述底板的中心在同一直线上,所述盖板的直径大于或等于所述上电极板的直径,所述盖板的上表面的径向两侧分别设置一盖板把手;所述底板的外周边和盖板的外周边上设有互相配合的锁紧机构;所述上电极板安装在所述底板和盖板之间,且所述上电极板的中心与所述底板的中心在同一直线上。本实用新型的上电极板的真空测漏工装,操作简单,可保证上电极板的质量。
申请公布号 CN204128756U 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201420634468.1 申请日期 2014.10.29
申请人 上海科秉电子科技有限公司 发明人 杨苏圣
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人 李征旦
主权项 一种上电极板的真空测漏工装,所述上电极板呈圆盘形,其特征在于,所述真空测漏工装包括底板和盖板,其中:所述底板呈圆盘形且水平设置,所述底板上开设一充气孔,该充气孔上通过密封圈插装一充气接口,所述底板的直径大于所述上电极板的直径;所述盖板呈圆盘形且安装在所述底板上,且所述盖板的中心与所述底板的中心在同一直线上,所述盖板的直径大于或等于所述上电极板的直径,所述盖板的上表面的径向两侧分别设置一盖板把手;所述底板的外周边和盖板的外周边上设有互相配合的锁紧机构;所述上电极板安装在所述底板和盖板之间,且所述上电极板的中心与所述底板的中心在同一直线上。
地址 201709 上海市青浦区白鹤镇外青松公路3236号