发明名称 |
一种上电极板的真空测漏工装 |
摘要 |
本实用新型公开了一种上电极板的真空测漏工装,所述真空测漏工装包括底板和盖板,所述底板呈圆盘形且水平设置,所述底板上开设一充气孔,该充气孔上通过密封圈插装一充气接口,所述底板的直径大于所述上电极板的直径;所述盖板呈圆盘形且安装在所述底板上,且所述盖板的中心与所述底板的中心在同一直线上,所述盖板的直径大于或等于所述上电极板的直径,所述盖板的上表面的径向两侧分别设置一盖板把手;所述底板的外周边和盖板的外周边上设有互相配合的锁紧机构;所述上电极板安装在所述底板和盖板之间,且所述上电极板的中心与所述底板的中心在同一直线上。本实用新型的上电极板的真空测漏工装,操作简单,可保证上电极板的质量。 |
申请公布号 |
CN204128756U |
申请公布日期 |
2015.01.28 |
申请号 |
CN201420634468.1 |
申请日期 |
2014.10.29 |
申请人 |
上海科秉电子科技有限公司 |
发明人 |
杨苏圣 |
分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 |
代理人 |
李征旦 |
主权项 |
一种上电极板的真空测漏工装,所述上电极板呈圆盘形,其特征在于,所述真空测漏工装包括底板和盖板,其中:所述底板呈圆盘形且水平设置,所述底板上开设一充气孔,该充气孔上通过密封圈插装一充气接口,所述底板的直径大于所述上电极板的直径;所述盖板呈圆盘形且安装在所述底板上,且所述盖板的中心与所述底板的中心在同一直线上,所述盖板的直径大于或等于所述上电极板的直径,所述盖板的上表面的径向两侧分别设置一盖板把手;所述底板的外周边和盖板的外周边上设有互相配合的锁紧机构;所述上电极板安装在所述底板和盖板之间,且所述上电极板的中心与所述底板的中心在同一直线上。 |
地址 |
201709 上海市青浦区白鹤镇外青松公路3236号 |