一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构

摘要

一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构属于深紫外光刻投影物镜像质补偿领域，目的在于避免光刻投影物镜工作过程中由于材料吸收激光热量而导致的像质劣化的问题，尤其针对于矩形曝光视场引入的非对称倍率及常数项像散的问题。本发明的一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构包括镜框、非轴对称结构和透镜；所述非轴对称结构包括两个相同的扇形区域，两个所述扇形区域分别关于上下、左右对称；所述镜框上圆周均布多组柔性支撑单元；所述透镜通过胶粘的方式与镜框上的多组柔性支撑单元固定连接，所述扇形区域固定在镜框上，内侧壁与所述透镜侧壁留有间隙，所述扇形区域的安装方位与投影物镜的扫描方向垂直。

主权项

一种用于光刻投影物镜热效应矫正的非轴对称镜组结构，其特征在于，包括镜框(1)、非轴对称结构(2)和透镜(3)；所述非轴对称结构(2)包括两个相同的扇形区域(201)，两个所述扇形区域(201)分别关于上下、左右对称；所述镜框(1)上圆周均布多组柔性支撑单元(101)；所述透镜(3)通过胶粘的方式与镜框(1)上的多组柔性支撑单元(101)固定连接，所述扇形区域(201)固定在镜框(1)上，内侧壁与所述透镜(3)侧壁留有间隙，所述扇形区域(201)的安装方位与投影物镜的扫描方向垂直。