发明名称 拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场
摘要 本实用新型公开了一种拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,其特征在于,包括筒体;所述筒体具有筒腔;所述筒体上端设置有上盖;所述上盖可打开地设置;所述筒腔内设置有坩埚;围绕坩埚设置有保温装置,保温筒内设置有加热器,加热器围绕坩埚设置,坩埚上方设置有导流筒。本实用新型中的拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,能耗可以降低降低32%以上;成晶率可提高5%以上;单晶氧含量可降低。
申请公布号 CN204125562U 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201420426638.7 申请日期 2014.07.30
申请人 上海合晶硅材料有限公司 发明人 沈杨宇;韩建超;徐新华
分类号 C30B15/14(2006.01)I 主分类号 C30B15/14(2006.01)I
代理机构 上海脱颖律师事务所 31259 代理人 李强
主权项 拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,其特征在于,包括筒体;所述筒体具有筒腔;所述筒体上端设置有上盖;所述上盖可打开地设置;所述筒腔内设置有坩埚;围绕坩埚设置有保温装置,保温筒内设置有加热器,加热器围绕坩埚设置,坩埚上方设置有导流筒。 
地址 201617 上海市松江区松江区贵南路500号