发明名称 | 拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,其特征在于,包括筒体;所述筒体具有筒腔;所述筒体上端设置有上盖;所述上盖可打开地设置;所述筒腔内设置有坩埚;围绕坩埚设置有保温装置,保温筒内设置有加热器,加热器围绕坩埚设置,坩埚上方设置有导流筒。本实用新型中的拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,能耗可以降低降低32%以上;成晶率可提高5%以上;单晶氧含量可降低。 | ||
申请公布号 | CN204125562U | 申请公布日期 | 2015.01.28 |
申请号 | CN201420426638.7 | 申请日期 | 2014.07.30 |
申请人 | 上海合晶硅材料有限公司 | 发明人 | 沈杨宇;韩建超;徐新华 |
分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
主权项 | 拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场,其特征在于,包括筒体;所述筒体具有筒腔;所述筒体上端设置有上盖;所述上盖可打开地设置;所述筒腔内设置有坩埚;围绕坩埚设置有保温装置,保温筒内设置有加热器,加热器围绕坩埚设置,坩埚上方设置有导流筒。 | ||
地址 | 201617 上海市松江区松江区贵南路500号 |