用于纳米压印复合模板的复制装置

摘要

本实用新型公开了一种用于纳米压印复合模板的复制装置，其包括第一对接单元和第二对接单元，其之间通过导向机构形成对合，且该第一对接单元和第二对接单元之间在对合后形成腔体。本实用新型相比于现有技术，其首先精简了结构的设置，使得制造成本得以降低；同时其复制过程简单，只需要向腔体内注入缓冲层即可，复制速度也得以提高；最后，通过设置导向机构，提高了复制的平整度，使得本实用新型无论相较于其他复制装置还是导向机构本身的作用，都取得了意想不到的技术效果，从而可以实现复合模板对微纳结构图案的高精度且高保真度的复制。

主权项

用于纳米压印复合模板的复制装置，其特征在于，包括第一对接单元和第二对接单元，其之间通过导向机构形成对合，且所述第一对接单元和所述第二对接单元之间在对合后形成腔体。