一种磁场增强型线性大面积离子源

摘要

本实用新型公开了一种磁场增强型线性大面积离子源，阴极顶板设置于阴极框体的顶部开口处，环形离子束引出口开设在阴极顶板上，环形阳极固定在绝缘支柱上，环形阳极和绝缘支柱位于阴极框体内，绝缘支柱的底部设置于阴极框体上，环形离子束引出口位于环形阳极之上，环形离子束引出口和环形阳极形状位置相匹配，气体电离室设置于环形阳极上表面和环形离子束引出口之间，条形磁钢设置于环形阳极的环形开口内，所述阴极框体、环形阳极、阴极顶板上分别设有冷水管；阴极框体的底部开设通气管道，所述通气管道设置于环形阳极和条形磁钢之间。合适的气室空间和均匀分布的气孔与的输气通道；对阳极、阴极、磁场同时水冷，确保温度不会太高也防止出现退磁。

主权项

一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，包括阴极顶板（1）、阴极框体（2）、环形阳极（3）、绝缘支柱（4）、条形磁钢（5）、气体电离室（6）和环形离子束引出口（7）；所述阴极顶板（1）设置于阴极框体（2）的顶部开口处，环形离子束引出口（7）开设在阴极顶板（1）上，环形阳极（3）固定在绝缘支柱（4）上，环形阳极（3）和绝缘支柱（4）位于阴极框体（2）内，绝缘支柱（4）的底部设置于阴极框体（2）上，环形离子束引出口（7）位于环形阳极（3）之上，环形离子束引出口（7）和环形阳极（3）形状位置相匹配，气体电离室（6）设置于环形阳极（3）上表面和环形离子束引出口（7）之间，条形磁钢（5）设置于环形阳极（3）的环形开口内，条形磁钢（5）、环形阳极（3）和阴极顶板（1）构成了环形放电槽；所述阴极框体（2）、环形阳极（3）、阴极顶板（1）上分别设有冷水管（8）；阴极框体（2）的底部开设通气管道（9），所述通气管道（9）设置于环形阳极（3）和条形磁钢（5）之间。