一种聚合物集成波导布拉格光栅折射率传感器

摘要

本发明公开了一种聚合物集成波导布拉格光栅折射率传感器，包括基底、下包层、上包层、芯层；下包层设置在基底的上表面；芯层设置在下包层的上表面；芯层上表面以及芯层周侧的下包层上表面均与有上包层的下表面贴合；布拉格光栅设置在芯层的下表面，布拉格光栅与芯层构成波导布拉格光栅；挖空上包层中心区域形成凹槽，并且该中心区域覆盖波导布拉格光栅的区域；凹槽中设置有待测液体，待测液体与凹槽中的芯层接触；芯层的一端作为输入光波导，另一端作为输出光波导。通过检测波导布拉格光栅中心波长的偏移量实现折射率传感的功能。该传感器传感范围较大、传感灵敏度高，且加工工艺简单、成本低廉、易于集成，在生化传感领域有广泛的应用前景。

主权项

一种聚合物集成波导布拉格光栅折射率传感器，其特征在于：包括基底(1)、下包层(2)、上包层(4)、芯层(3)；所述下包层(2)设置在基底(1)的上表面；所述芯层(3)设置在下包层(2)的上表面；所述芯层(3)上表面以及芯层(3)周侧的下包层(2)上表面均与上包层(4)的下表面贴合；所述布拉格光栅(5)设置在芯层(3)的下表面，所述布拉格光栅(5)与芯层(3)构成波导布拉格光栅；挖空上包层(4)的中心区域形成凹槽(6)，并且该中心区域覆盖波导布拉格光栅的区域；所述凹槽(6)中设置有待测液体，所述待测液体与凹槽(6)中的芯层接触；所述芯层(3)的一端作为输入光波导(7)，另一端作为输出光波导(8)；光信号从输入波导(7)中输入，进入波导布拉格光栅结构中与待测液体接触，最后从输出光波导(8)输出。