一种基于石墨烯的多层共面波导传输线及其制备方法

摘要

本发明提出了一种基于石墨烯的多层共面波导传输线及其制备方法，属于通信电子元器件领域。该传输线从下往上依次为低阻导电硅衬底、SiO₂介质层、石墨烯层、Al₂O₃保护层和金属电极，所述金属电极包括中心导带和接地板，通过在所述低阻导电硅衬底上加直流偏置电压可改变石墨烯的介电性能。本发明提出的共面波导传输线可对石墨烯的介电性能进行调节，从而实现插入损耗和相位延迟的可调；采用Al₂O₃作为保护层，避免了石墨烯直接接触金属导带造成的表面污染和损伤，降低了传输线损耗，从而实现更高的偏压影响灵敏度。

主权项

一种基于石墨烯的多层共面波导传输线，从下往上依次为低阻导电硅衬底、SiO₂介质层、石墨烯层、Al₂O₃保护层和金属电极，所述金属电极包括中心导带和接地板。