用于硅烷色谱分析的采样系统

摘要

本发明为一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于：所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器和流量计设于进入分析单元的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统。采样系统中样品进气气路串接第一减压阀后与第一气路三通连接；第一吹扫气进气气路串接第二减压阀后再和第一气路三通连接，在第二减压阀和第一气路三通之间设有第一截止阀；第二吹扫气进气气路串接第三减压阀后直接连接到尾气处理系统上。本发明实现了在硅烷采样中排除了空气干扰，减少实验误差，同时保障了采样的安全性。

主权项

一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于：所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器（10）和流量计（11）设于进入分析单元（12）的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统（13）。