集成电路换向装置

摘要

本发明涉及集成电路制造设备领域，目的是提供一种使集成电路进入料管的方向不变，多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序的流水作业的集成电路换向装置。一种集成电路换向装置包括安装座、旋转座、旋转驱动机构、设有与旋转座的外周匹配的圆弧面的弧形挡板、出料管道和暂存管道；旋转座与安装座枢接；出料管道、弧形挡板和暂存管道分别与安装座固定连接；所述的旋转驱动机构分别与安装座和旋转座固定连接。该集成电路换向装置使集成电路进入料管的方向不变，多道工序不需要换向拔除和盖住料管的塞盖操作、效率高且利于实现多道工序流水作业的集成电路换向装置。

主权项

一种集成电路换向装置，其特征是：所述的集成电路换向装置包括安装座、旋转座、旋转驱动机构、设有与旋转座的外周匹配的圆弧面的弧形挡板、出料管道和暂存管道；所述的旋转座与安装座枢接；所述的出料管道和暂存管道沿旋转座的外周径向分布，弧形挡板的两端分别与出料管道的一侧和暂存管道的一侧接触；出料管道、弧形挡板和暂存管道分别与安装座固定连接；所述的旋转驱动机构分别与安装座和旋转座固定连接；所述的旋转座的外周设有存放凹槽，存放凹槽在旋转座的外周端设有导入面；所述的出料管道与暂存管道之间的夹角为120度至150度；所述的集成电路换向装置设有与安装座的下端固定连接的底板；所述的底板设有套在出料管道外的通槽；所述的出料管道与底板之间的夹角为80度至100度；该集成电路换向装置使用时，底板水平放置，出料管道位于底板下方。