发明名称 |
一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置,它包括一氦气罐(1),所述的氦气罐(1)内滑动配合设置有多层隔板(2),每一层隔板(2)上均开设有多个通气孔(3),并且隔板(2)上对称设置有提耳(4),所述的隔板(2)上放置有石英晶体谐振器(5),所述氦气罐(1)上端设置有密封端盖(6),所述的氦气罐(1)底部连接有进气管道(7)和出气管道(8),所述的进气管道(7)上设置有进气阀门(12),出气管道(8)上设置有出气阀门(9)。本实用新型的有益效果是:它具有检漏效率高和成本低的精密石英谐振器高速检漏装置。 |
申请公布号 |
CN204128755U |
申请公布日期 |
2015.01.28 |
申请号 |
CN201420570979.1 |
申请日期 |
2014.09.30 |
申请人 |
东晶锐康晶体(成都)有限公司 |
发明人 |
杨溢 |
分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01M3/20(2006.01)I |
代理机构 |
成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 |
代理人 |
袁英 |
主权项 |
一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置,其特征在于:它包括一氦气罐(1),所述的氦气罐(1)内滑动配合设置有多层隔板(2),每一层隔板(2)上均开设有多个通气孔(3),并且隔板(2)上对称设置有提耳(4),所述的隔板(2)上放置有石英晶体谐振器(5),所述氦气罐(1)上端设置有密封端盖(6),所述的氦气罐(1)底部连接有进气管道(7)和出气管道(8),所述的进气管道(7)上设置有进气阀门(12),出气管道(8)上设置有出气阀门(9)。 |
地址 |
610041 四川省成都市高新区西部园区天映路101号 |