发明名称 一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置
摘要 本实用新型公开了一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置,它包括一氦气罐(1),所述的氦气罐(1)内滑动配合设置有多层隔板(2),每一层隔板(2)上均开设有多个通气孔(3),并且隔板(2)上对称设置有提耳(4),所述的隔板(2)上放置有石英晶体谐振器(5),所述氦气罐(1)上端设置有密封端盖(6),所述的氦气罐(1)底部连接有进气管道(7)和出气管道(8),所述的进气管道(7)上设置有进气阀门(12),出气管道(8)上设置有出气阀门(9)。本实用新型的有益效果是:它具有检漏效率高和成本低的精密石英谐振器高速检漏装置。
申请公布号 CN204128755U 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201420570979.1 申请日期 2014.09.30
申请人 东晶锐康晶体(成都)有限公司 发明人 杨溢
分类号 G01M3/20(2006.01)I 主分类号 G01M3/20(2006.01)I
代理机构 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 代理人 袁英
主权项 一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置,其特征在于:它包括一氦气罐(1),所述的氦气罐(1)内滑动配合设置有多层隔板(2),每一层隔板(2)上均开设有多个通气孔(3),并且隔板(2)上对称设置有提耳(4),所述的隔板(2)上放置有石英晶体谐振器(5),所述氦气罐(1)上端设置有密封端盖(6),所述的氦气罐(1)底部连接有进气管道(7)和出气管道(8),所述的进气管道(7)上设置有进气阀门(12),出气管道(8)上设置有出气阀门(9)。
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