一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括：MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间，所述ASIC芯片固定在所述电路板上，金属线连接所述ASIC芯片和所述电路板，所述MEMS芯片固定在所述外壳顶端内壁上，所述MEMS芯片外侧与所述外壳和所述电路板之间形成背腔；音孔开设在所述MEMS芯片内侧所对的所述壳体上，所述音孔与所述MEMS芯片内侧之间形成前腔；导连件固定在所述MEMS芯片和所述电路板之间，所述导连件内设有至少两个导电柱，所述导电柱一端固定在所述MEMS芯片的焊盘上，另一端固定在所述电路板的焊盘上，所述导电柱实现所述MEMS芯片和所述电路板之间的导通。

主权项

一种MEMS麦克风，其包括：MEMS芯片和ASIC芯片内置于外壳和电路板形成的腔体之间，所述ASIC芯片固定在所述电路板上，金属线连接所述ASIC芯片和所述电路板，其特征在于，所述MEMS芯片固定在所述外壳顶端内壁上，所述MEMS芯片外侧与所述外壳和所述电路板之间形成背腔；音孔开设在所述MEMS芯片内侧所对的所述壳体上，所述音孔与所述MEMS芯片内侧之间形成前腔；导连件固定在所述MEMS芯片和所述电路板之间，所述导连件内设有至少两个导电柱，所述导电柱一端固定在所述MEMS芯片的焊盘上，另一端固定在所述电路板的焊盘上，所述导电柱实现所述MEMS芯片和所述电路板之间的导通。