Encapsulation structure including a mechanically-reinforced cover with getter effect

摘要

Structure d'encapsulation (100) d'un micro-dispositif (104) réalisé sur et/ou dans un substrat (102) et disposé dans une cavité (110) formée entre le substrat et un capot (106) qui comporte :
- une couche (112) d'un premier matériau dont une face (114) forme une paroi intérieure de la cavité, et
- des portions de renfort mécanique (116) solidarisées à ladite face, recouvrant en partie ladite face et présentant des propriétés d'absorption / d'adsorption gazeuse,
dans laquelle le module d'Young d'un deuxième matériau des portions de renfort mécanique est supérieur à celui du premier matériau, et chacune des portions de renfort mécanique comporte une première couche du deuxième matériau et une deuxième couche d'un troisième matériau getter métallique telles que la première couche du deuxième matériau soit disposée entre la couche du premier matériau et la deuxième couche du troisième matériau et/ou soit recouverte par la deuxième couche du troisième matériau.