一种圆形平面阴极与圆台、柱形组合栅孔对应的冷阴极电子枪

摘要

本发明公开了一种圆形平面阴极与圆台、柱形组合栅孔对应的冷阴极电子枪，包括阴极、栅极、第一阳极和第二阳极，所述阴极包括阴极基板和制作在阴极基板上表面的场发射阴极，所述场发射阴极覆盖住所述圆台状突起结构的上表面圆面部位，形成圆形平面阴极。本发明与传统场发射阴极电子枪技术相比，不仅具有发射面电场均匀分布且容易控制、发射均匀性好，能够有效的避免传统场发射阴极因边缘场过于集中带来的打火、阴极损伤；在栅极和第一阳极的组合控制下，还能够使得发射电子束的运动轨迹的汇聚的趋势更加明显。

主权项

一种圆形平面阴极与圆台、柱形组合栅孔对应的冷阴极电子枪，包括阴极、栅极(3)、第一阳极(8)和第二阳极(10)，所述阴极包括阴极基板(1)和制作在阴极基板(1)上表面的场发射阴极(2)，所述栅极(3)设置在阴极和第一阳极(8)之间，在栅极(3)上设置有与场发射阴极(2)对应的栅孔(7)；其特征在于：所述阴极基板(1)上表面对应栅孔(7)的位置设置有圆台状突起结构，所述场发射阴极(2)覆盖住圆台状突起结构的上表面，形成圆形平面阴极；所述栅孔(7)的内径沿其轴向先减小后不变再增大，形成上下两个燕尾与中间柱形栅孔过渡对接的结构；以柱形栅孔极板上下底面为横截面，将栅极(3)分为上中下三部分，靠近第一阳极(8)的一侧称为上极板(6)，靠近阴极的一侧称为下极板(4)，以及中间的柱形栅孔极板(5)。