一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，属于多晶硅生产工业中的辅助设备技术领域。本实用新型包括仿形阳极装置和形的固定装置；所述仿形阳极装置包括仿形阳极内胆、内胆顶部固定螺栓、内胆底部固定螺栓；所述形固定装置包括侧面固定螺栓、支架、固定三角铁以及顶部固定轴。本实用新型无需大量镀液和操作设备，无需将还原炉进行长距离运输，安全性高。此外，该装置机构简单，成本低，使用方便灵活，可操作性良好，减少了人力成本和能耗，有效地辅助电镀及其前处理操作，用后拆装方便，便于移动，减少庞大的还原炉的移动。

主权项

一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：包括仿形阳极装置和十字形的固定装置；所述仿形阳极装置包括仿形阳极内胆、内胆顶部固定螺栓（1）、内胆底部固定螺栓（2）；所述仿形阳极内胆与还原炉内壁形状相同，且与还原炉同轴嵌套，通过内胆顶部固定螺栓（1）、内胆底部固定螺栓（2）固定到还原炉内壁上，内胆顶部固定螺栓（1）有四个，分别位于还原炉切面的十字形方向上，仿形阳极内胆与还原炉之间装有溶液（8）； 所述十字形固定装置包括侧面固定螺栓（3）、十字支架（4）、固定三角铁（5）以及顶部固定轴（6）；所述十字形固定装置上的十字支架（4）用于夹住还原炉的底部，并通过四个侧面固定螺栓（3）紧固，顶部固定轴（6）穿过十字支架（4）的中心并插入还原炉底端一部分，所述仿形阳极内胆可以为不溶性阳极，采用钛板制成。