用于后侧绝对压力传感器的罩结合结构和方法

摘要

一种压力传感器包括压力感测元件，所述压力感测元件具有隔膜、腔室、以及连接到隔膜的桥接电路。顶表面形成为压力感测元件的一部分，使得顶表面的至少一部分是隔膜的一部分，多个压敏电阻器位于顶表面上。罩通过使用多层结合到顶表面，所述层之一是二氧化硅层，另一层是氮化硅层，另一层是氧化物层，另一层是多晶硅层。所述多层提供罩和压力感测元件的顶表面之间的合适结合。

主权项

一种设备，包括：压力传感器，所述压力传感器包括：压力感测元件；腔室，作为压力感测元件的一部分形成；结合机构；罩，连接到压力感测元件的顶表面；以及隔膜，作为压力感测元件的一部分形成，从而隔膜的至少一部分形成腔室的一部分；其中，所述罩用结合机构结合到压力感测元件的顶表面。