清洗方法和清洗装置

摘要

本发明提供清洗方法和清洗装置。在施加处理液来清洗被清洗物的清洗方法中，具有：第1步骤(S3)，对所述被清洗物施加包含微纳气泡或纳气泡等较小尺寸的气泡的第1处理液；以及第2步骤(S4)，在该第1步骤后，对附着有所述第1处理液的状态下的所述被清洗物施加第2处理液，该第2处理液包含比所述第1处理液所包含的气泡的尺寸大的微气泡等气泡，在利用第1处理液进行清洗后，利用包含比该第1处理液所包含的气泡的尺寸大的气泡的第2处理液进行清洗，所以，能够在使用利用了较小气泡的优良性质的第1处理液进行清洗后，使用利用了较大气泡的优良性质的第2处理液进行清洗。

主权项

一种施加处理液来清洗被清洗物的清洗方法，其中，该清洗方法具有：第1步骤，对所述被清洗物施加包含气泡的第1处理液；以及第2步骤，在该第1步骤后，对附着有所述第1处理液的状态下的所述被清洗物施加第2处理液，该第2处理液包含比所述第1处理液所包含的气泡的尺寸大的气泡，所述被清洗物在输送路径上被输送，与所述第1步骤相比在输送方向的下游侧进行所述第2步骤。