一种高精度的变频干涉的四步相移标定方法

摘要

本发明涉及一种高精度变频干涉的四步相移标定方法。常见的相位变频相移标定方法存在以下不足：随机误差大，仅对单个采样点进行分析，难以消除随机误差的影响；缺乏全面性，无法全面的反映测量中所有采样点的标定情况，因此其标定精度不高。一种高精度的变频干涉的四步相移标定方法，具体包括以下步骤：搭建菲索干涉测试光路，采集参考光与测试光的原始干涉图，并存入计算机；调节变频激光器的驱动电压，改变输出波长值，采集误差干涉图，存入计算机中；实现相位的精确标定。该方法可实现相位的精确标定消除了随机误差对标定的影响；实现了相位的精确标定。

主权项

一种高精度的变频干涉的四步相移标定方法，其特征在于：具体包括以下步骤：(1)搭建菲索干涉测试光路，以为中心波长，用CCD相机采集参考光与测试光在干涉场中产生的干涉图像，即原始干涉图，并将其存入计算机中；(2) 在上述菲索干涉测试光路中，调节变频激光器的驱动电压，改变输出波长值：令，且，令，那么，在对第t步相移进行标定时，在内，采集多幅具有不同相移误差的干涉图像，用CCD相机采集多幅相移干涉图像，即误差干涉图，存入计算机中；(3)将原始干涉图像与误差干涉图像分别除去背景，相乘后，对其进行傅里叶变换，再经低通滤波后，对其低频部分的强度值求和，经拟合后得到相移量‑误差曲线，通过求取该曲线的极值点，实现相位的精确标定。