| 发明名称 | 载体衬底和铁电层组成的传感器布置以及用于制造和使用的传感器布置的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及传感器布置，其包括载体衬底以及在载体衬底上布置的铁电层，其中传感器布置具有用于读出铁电层的介电常数的装置。其特征在于，铁电层结晶地布置在载体衬底上。公开用于制造传感器布置的方法及传感器布置的使用。 | ||
| 申请公布号 | CN104321874A | 申请公布日期 | 2015.01.28 |
| 申请号 | CN201380014440.6 | 申请日期 | 2013.03.09 |
| 申请人 | 于利奇研究中心有限公司 | 发明人 | R.韦登韦伯 |
| 分类号 | H01L29/51(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/51(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 徐予红;刘春元 |
| 主权项 | 传感器布置，包括载体衬底以及在载体衬底上布置的铁电层，其中所述传感器布置具有用于读出铁电层的介电常数的装置，其特征在于，所述铁电层结晶地布置在所述载体衬底上。 | ||
| 地址 | 德国于利奇 | ||