发明名称 | 温度受控的集成压电谐振器 | ||
摘要 | 一种集成谐振器设备(100),包括压电谐振器(120、124、128);耦合到压电谐振器的声学布拉格反射器(104);以及衬底(102),所述声学布拉格反射器设置在衬底(102)上。该设备还包括覆盖压电谐振器的有源加热器层。有源加热器层(150)产生的热量由通过加热器层提供的电流量可控制。 | ||
申请公布号 | CN104321893A | 申请公布日期 | 2015.01.28 |
申请号 | CN201380025923.6 | 申请日期 | 2013.05.31 |
申请人 | 德克萨斯仪器股份有限公司 | 发明人 | B·N·伯吉斯;W·R·克莱尼克;S·M·雅各布森 |
分类号 | H01L41/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
主权项 | 一种集成谐振器设备,其包括:压电谐振器;声学布拉格反射器,其耦合到所述压电谐振器;衬底,所述声学布拉格反射器设置在衬底上;和有源加热器层,其覆盖所述压电谐振器,由所述有源加热器层产生的热量由通过所述加热器层提供的电流量而可控制。 | ||
地址 | 美国德克萨斯州 |