发明名称 一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法
摘要 本发明公开了一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器,包括柔性衬底、设置在柔性衬底上的石墨烯纳米墙和设置在石墨烯纳米墙上的电极,所述柔性衬底会因气体流动而产生微小震动,从而导致石墨烯纳米墙的电阻发生改变;与此同时,本发明还提供一种制作前述气流传感器的方法。本发明所提供的气流传感器对气体流动有优良的探测特性,并且体积小巧,功耗低,性能稳定;同时柔性较好,可穿戴性能佳。
申请公布号 CN104316086A 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201410653110.8 申请日期 2014.11.13
申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明人 杨俊;魏大鹏;汤林龙;史浩飞;杜春雷
分类号 G01D5/16(2006.01)I 主分类号 G01D5/16(2006.01)I
代理机构 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人 赵荣之
主权项 一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器,其特征在于:包括柔性衬底、设置在柔性衬底上的石墨烯纳米墙和设置在石墨烯纳米墙上的电极,所述柔性衬底会因气体流动而产生微小震动,从而导致石墨烯纳米墙的电阻发生改变。
地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号