共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法

摘要

共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法属于共焦扫描光学测量技术领域；该方法首先归一化数据，从实测数据中选取有效数据；然后以sinc²(a(x-b))函数为目标函数，根据测量参数计算目标参数初值；再以sinc²(a(x-b))函数为目标函数，利用Levenberg-Marquardt算法进行拟合求得目标参数；最后根据目标参数计算峰值位置；本发明共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法，通过使用sinc²作为拟合的目标函数来获得共焦轴向相应曲线峰值位置，可以提高数据利用率与测量不确定度，同时减少迭代次数，减少了提取算法的运算时间。

主权项

一种共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤a、归一化数据，从实测数据中选取有效数据，轴向扫描间隔为z，扫描层数为N； 步骤b、以sinc²(a(x‑b))函数为目标函数，根据测量参数计算目标参数初值a₁和b₁； 步骤c、以sinc²(a(x‑b))函数为目标函数，利用Levenberg‑Marquardt算法进行拟合求得目标参数； 步骤d、根据目标参数计算峰值位置。