发明名称 一种适用于体硅CMOS可抑制寄生闩锁效应的器件结构
摘要 本发明公开了一种适用于体硅CMOS可抑制寄生闩锁效应的器件结构,包括设置有保护环结构的NMOS和PMOS,其特征在于,还设置有势垒阱结构,势垒阱设置于NMOS与PMOS的保护环之间,其材质为与衬底杂质类型相反的掺杂区,其深度与体硅CMOS阱的结深相同,势垒阱的电位处于悬浮状态。
申请公布号 CN104319286A 申请公布日期 2015.01.28
申请号 CN201410608886.8 申请日期 2014.11.04
申请人 北京奥贝克电子股份有限公司 发明人 吕宗森;徐立
分类号 H01L29/735(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I 主分类号 H01L29/735(2006.01)I
代理机构 北京知本村知识产权代理事务所 11039 代理人 周自清
主权项 一种适用于体硅CMOS可抑制寄生闩锁效应的器件结构,包括设置有保护环结构的NMOS和PMOS,其特征在于,还设置有势垒阱结构,势垒阱设置于NMOS与PMOS的保护环之间,其材质为与衬底杂质类型相反的掺杂区,其深度与体硅CMOS阱的结深相同,势垒阱的电位处于悬浮状态。
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